氬氣的作用不僅是保護(hù)氣還是載氣，如果氣體雜質(zhì)含量太大，不僅降低光譜儀壽命，而且對測量結(jié)果影響也比較大，要求使用純度達(dá)到99.995%的工業(yè)氬氣，氬氣純度最好為99.999%以上。氬氣雜質(zhì)中對光譜儀分析有影響的主要成分是癢和水分。氧能吸收部分元素的譜線，使其強(qiáng)度值降低，給測定帶來影響，特別是測定低含量的樣品時(shí)尤為明顯。不同類型樣品，對氧含量要求略有不同，一般情況下，多基體溶液、鑄鐵樣品、含Si和Al高的鋼樣、Al、Mg、Zr和Ti基材料，氧允許量（體積分?jǐn)?shù)）不大于0.5*10﹣6.Ni基材料和一般鋼樣，氬氣中氧允許量（體積分?jǐn)?shù)）不大于2.5*10﹣6、若分析有色金屬Zn、Cu、Pb，Sn、Cd及金屬，氧允許量（體積分?jǐn)?shù)）不大于4.0*10﹣6。另外氬氣中氧氣，水分，灰塵顆粒濃度超標(biāo)，造成光譜儀無法點(diǎn)火，堵塞氣路燒炬管或測定出來的數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，精密度偏大等現(xiàn)象，特別是測定低含量的元素。例如氬氣的水分含量（體積分?jǐn)?shù)）大于0.5*10﹣6，ICP光譜儀將出現(xiàn)點(diǎn)火困難，用高純氣點(diǎn)燃后再將工作氣切換到上述氣體，出現(xiàn)火焰時(shí)有跳動，強(qiáng)度值波動很大等現(xiàn)象；另外，如果用純度不夠的氬氣進(jìn)行光室驅(qū)氣，會導(dǎo)致紫外區(qū)測量靈敏度下降和數(shù)據(jù)穩(wěn)定性降低，比如All67.120nm和P178.287nm。嚴(yán)重時(shí)將導(dǎo)致?lián)p壞氣體控制模塊或者導(dǎo)致測量過程中斷，在CID做檢測器的光譜儀器中，水分含量最高的氬氣會導(dǎo)致檢測器表面結(jié)霜，影響測量結(jié)果，甚至?xí)ID做檢測器損壞，造成絕大的經(jīng)濟(jì)損失。在歐美均有光譜儀純專用氬氣供應(yīng)，類似我國的高純氬（99.999%）當(dāng)氬氣約純說明其他雜質(zhì)氣體越少，也越能保證結(jié)果的準(zhǔn)確性。一般99.999%氬氣就可以達(dá)到要求了。不然在顯示界面的光強(qiáng)值會很低，則分析數(shù)據(jù)也不能采用了。